技術(shù)參數(shù)

XY掃描器：

• 閉環(huán)控制式單模塊柔性XY掃描器。
• 掃描范圍: 50 μm × 50 μm (可選  100 μm×100 μm, 10 μm×10 μm )

Z掃描器：

• 柔性引導(dǎo)高力度掃描器
• 掃描范圍: 12 μm (可選 25 μm)

樣品臺：

•  XY臺工作范圍: 13 × 13 mm
•  Z臺工作范圍: 29.5 mm
•  聚焦臺工作范圍: 70 mm

光學(xué)系統(tǒng)：

• 可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng)
• 10X 物鏡 (可選20X）
• 視場: 480 × 360 μm 
• CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

電路系統(tǒng)：

•  高性能DSP : 600 MHz with 4800 MIPS
•  大圖像尺寸: 4096 x 4096像素, 16個數(shù)據(jù)圖像
•  信號輸入： 在500kHz取樣時, 16位ADC的20個通道
•  信號輸出： 在500kHz取樣時, 16位ADC的21個通道
•  同步信號 ：圖像結(jié)束, 線結(jié)束及像素結(jié)束TTL信號
•  主動Q控制(選配)
•  懸臂梁彈性常數(shù)校準(選配)                           
•  CE Compliant
•  電源 : 120 W
•  信號處理模塊 (選配)

    原子力顯微鏡 原子力顯微鏡